MEMS静电扬声器的振膜通常由薄膜材料制成，这些材料具有良好的电性能和振动特性。

常见的振膜材料包括：

硅：硅是一种常用的MEMS材料，因为它在微纳米尺度上加工和加工成薄膜非常方便。硅振膜具有较高的刚度和轻质，可以产生较好的声音响应。

聚酯薄膜：聚酯薄膜（如聚酯薄膜或PET）也常用于振膜材料，因为它们具有轻质、柔韧和电绝缘性能。这些特性使其适合用于MEMS扬声器的振膜。

氮化硅（Silicon Nitride）：氮化硅是另一种用于MEMS振膜的材料，它具有良好的机械特性和化学稳定性。

氧化铝（Alumina）：氧化铝也可以用于制造振膜，它具有较高的硬度和耐磨性。

MEMS扬声器的设计和性能会受到振膜材料的选择影响，不同的振膜材料可以产生不同的声音特性和频率响应。因此，振膜材料的选择是设计MEMS扬声器时需要考虑的重要因素之一。